シリサイド サリサイド ポリサイド

シリサイドとサリサイドがごっちゃになったので，備忘録的にメモ．ポリサイドもあるよ！

・シリサイド
シリコンと金属の化合物をシリサイド(Silicide．より正確にはメタルシリサイド)と呼ぶ．コバルト(Co)やニッケル(Ni)とシリコンの化合物が微細プロセスではよく使われる．
ポリシリコンや拡散はVIAを通じて上部のメタルに接続されるが，Siでできているポリシリコンや拡散に金属のVIAを直接接続すると，接合部(ジャンクション)の仕事関数が大きく，抵抗が大きくなる．従ってシリサイド化する事で仕事関数を小さくする事で，接合抵抗を軽減できる．
多結晶シリコンよりも抵抗が低く，ポリ配線，拡散配線の抵抗を減らすことができる．メタルと比べると高温でも安定であるため，高温でアニールする必要のあるトランジスタの電極で使われる．


・ポリサイド
ポリサイドは(POLYsilicon siliCIDE)の略で，ポリシリコンゲート上に生成するシリサイドの事である．
シリサイドはポリシリコンよりも抵抗が低いのでゲート電極の抵抗を減らすことができる．


・サリサイド
サリサイドは(Self Aligned siliCIDE)の略で，自己整合で作られるシリサイドの事を，特にサリサイドと呼ぶ．ポリシリコンだけでなくトランジスタの拡散領域にシリサイドを生成する時に利用する．

くどいが，ポリシリコンの上にシリサイドを作った物がポリサイド，ポリシリコンと拡散両方に自己整合的にシリサイドを作ったものをサリサイドと呼べばよさそうである．